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Scanning Probe Microscope 이란?
1-1. SPM의 스캐너
1-2. 스캐너 구조와 작동
1-3. 스캐너의 본질적인 문제점들.
1-3-1. Intrinsic 비선형성
1-3-2. Hysteresis
1-3-3. Creep
1-3-4. Aging
1-3-5. Cross Coupling
1-4. 스캐너 문제점들의 해결방법
1-4-1. Software
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야 한다는 점이다.
Ⅴ 다른 기기와의 비교분석
탐침형 원자 현미경(scanning probe microscope ;SPM)이란 다양한 방식의 탐침(probe)으로 시료의 표면을 스캔하여 원자 지름의 수십 분의 1인 0.01나노미터(nm) 수준까지 측정할 수 있는 제3세대 현미경이다.
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야 한다는 점이다.
Ⅴ 다른 기기와의 비교분석
탐침형 원자 현미경(scanning probe microscope ;SPM)이란 다양한 방식의 탐침(probe)으로 시료의 표면을 스캔하여 원자 지름의 수십 분의 1인 0.01나노미터(nm) 수준까지 측정할 수 있는 제3세대 현미경이다.
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전자를 발생시켜서, 센서로 받아들여 관찰할 수 있도록 한다.
SPM(Scanning Probe Microscope)은 1982년에 IBM. Zurich 연구소의 G.Binning, H.Roher에 의해 발명 (1986년의 노벨물리학상수상) 됐던 STM(Scanning Tunneling Microscope)의 원리로부터 탄생되었다. 미세한 탐
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Electron microscope(EM)
• SEM (scanning electron microscope)
• FESEM (field emission scanning electron microscope)
• TEM (transmission electron microscope)
• HRTEM (high resolution transmission electron microscope)
Scanning probe microscope(SPM)
• STM(scanning tun
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Microscope)과 AFM (Atomic Force Microscope)을 통칭하여 부르는 용어 날카로운 탐침(Probe 혹은 Tip)이 표면에 수 Å 이내로 접근하여 Scanning
응용분야
표면분석 (표면 거칠기, 표면 형상, 자기특성…)
STM(Scanning Tunneling Microcopy)의 문제점 해결
원자
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microscope )
2) 위상차 현미경 (位相差顯微鏡, phase-contrast microscope )
3) 간섭현미경 ( 干涉顯微鏡, interference microscope )
4) 주사형 현미경(Scanning Probe Microscope)
5) TEM (Transmission electron microscope: 투과 전자 현미경)
6) 편광현미경(polarization microscope,偏
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Scanning Tunneling Microscope)과 AFM(Atomic Force Microscope)을 포함하는 원자현미경 (Scanning Probe Microscope)이다. '원자는 너무 작아서 아무리 좋은 현미경으로도 볼 수 없다'는 기존의 통념을 깨뜨린 원자현미경은, 제1세대인 광학현미경과 제2세대인 전자현
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Scanning Probe Microscope의 약자로서 물질의 표면특성을 원자단위까지 측정할 수 있는 새로운 개념의 현미경을 총칭하는 말이다. 광학현미경의 배율이 최고 수천 배 전자현미경(SEM)의 배율이 최고 수십 만 배인데 비해 원자현미경의 배율은 최고
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microscope )
2) 위상차 현미경 (位相差顯微鏡, phase-contrast microscope )
3) 간섭현미경 ( 干涉顯微鏡, interference microscope )
4) 주사형 현미경(Scanning Probe Microscope)
5) TEM (Transmission electron microscope: 투과 전자 현미경)
6) 편광현미경(polarization micro
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